先进性

1、独立开发的 PLC+触摸屏智能操作系统，具有智能控制模式和调试维修模式；

2、控制系统具备漏气自检与提示功能，当设备漏气时，系统会自动提示设备漏气，以便用户进行检漏，保证设备正常稳定运行；

3、控制系统具备保养维护提示功能，当设备运行达到一定时长，系统会自动提示设备需要维护保养，以便用户及时进行维护，保证设备正常稳定运行；

4、控制系统具备通讯故障自检功能，系统对分子泵、溅射电源、真空规、电机、流量计等部件的通讯进行自检，如果某个部件出现故障，可以按照系统中的各部件故障查询办法进行查询，及时确认故障原因，保证设备安全；

5、控制系统具备数据记录与导出功能，控制系统记录设备的操作记录及镀膜过程数据，可以在系统中查看这些数据，也可以用 U 盘导出这些数据；

​6、该系统具备三个等级级密码保护功能，不同等级不同使用权限，确保设备的安全性和数据的保密性；

04

Four

设备主要零部件采用进口或国内知名品牌，保证了设备的质量及稳定性；

03

Three

稳定性

实用性

1、设备集成度高，结构紧凑，占地面积小，可以放置于实验桌面上或者手套箱内；

​2、自主研发的水冷式高温电阻蒸发源可以蒸镀一些熔点高的难熔金属，比如Ti，Cr等；

01

One

方便性

1、设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接线及安装调试简单，既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁性；

2、设备可将主机置于手套箱内，水、电、气等通过 KF40 接口接到手套箱外， 与手套箱的对接灵活方便；

3、设备工作电压为 220V，整机功率小于 2KW，对实验室的供电要求低；

02

Two