显微转移操作平台：

a. 四轴可调衬底载物平台：样品台通过导轨提供直线移动，三轴可调；支持XY方向平移，行程13mm，测微丝杆控制系统分辨率0.002mm；绕 z 轴手动调节旋转最大±90°，测微器精细调节，行程5°，调节精度1°左右； 绕x轴和y 轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm，倾斜角度±3°；

b. 衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度为150 ℃，使用 PID 温度控制器，温度控制稳定性小于±1℃，带加热开关；

c. 四轴可调载玻片移动平台：载玻片 XYZ三轴可调，80mm高稳定性不锈钢台面，行程25mm，测微丝杆控制；样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360°，细调旋转范围±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自动吸附样品，确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵电磁阀控制，按钮控制是否吸附样品；真空泵：50L/min 流量；

e. 转移平台的样品载物台（底座），能够固定对接对准平台，方便拆卸和安装，便于操作。

显微成像光路系统： 

a. 单筒显微镜：变倍比1:6.5,变倍范围0.7X-4.5X,工作距离90mm,分辨率63-180lp/mm，95mm超长工作距离20倍物镜，综合最大放大倍率800~850倍； 

b. 白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1W LED，色温5500K，照明均匀；LED照明控制器90V-250V宽电压,1W LED控制器，可调光；

c. 显微相机：彩色CCD相机；1920x1080高灵敏度CMOS传感器，30fps速度保存；支持HDMI相机直接输出到显示器（本设备不附带电脑）；曝光时间0.4ms~999ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制，可软件测量显微样品尺寸及角度；工作温度-10~ 50摄氏度；

d. 显微观察支架：高稳定性铝型材支架，长宽高280mm*80mm*80mm，支持沿 xy方向 50mm行程，大范围调节显微镜观察位置；

e. 显示器：全高清专业显示器，支持顺时针旋转90度。

 产品介绍：对准平台主要功能就是将工件台上的样品与掩膜板上图形进行对准并接触固定，其对准精度约为 1um，完全能够达到掩膜板自身精度要求。

 对准平台组成： 样品台、掩膜板固定支架、掩膜板支架竖直移动旋钮、掩膜板倾角和俯仰角调节旋钮、样品台水平移动旋钮、样品台旋转控制器和底座；

 对准平台常规尺寸： 底座直径100mm，样品台直径32mm，高度30mm，重量约280g；

真空腔室：

Ф250×260mm（具体尺寸以设计为准）），不锈钢材质，氩弧焊接

 产品介绍：包括2个箱体（箱体之间直接连通无隔断），左边箱体里面放蒸镀仪（前门可打开，方便镀膜仪放样取样）；右边箱体放材料转移平台（右边箱体不开前门，通过手套操作材料转移平台）；最右边有大小各一个过渡仓。

a.     密闭循环，手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧。 b.    自动控制再生, 除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制。c.     自动清洗,手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成。d.    箱体压力控制 手套箱内压力通过PLC 自动控制, 工作压力+/- 10mbar 内可以自由设定，超出+/- 12mbar 系统自动保护  真空泵自动控制 真空泵要求在系统需要时自动开启。

主要组成和基本配置： 集成有封闭的箱体（带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗）、过渡舱、循环 净化单元(单柱)、PLC 控制及触摸屏操作系统，真空系统、显示系统、支架等；

 关键技术性能： 水、氧指标：小于1 ppm；