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真空实验腔用于材料器件、仪器仪表、精密设备等在太空中的模拟实验环境,也用于先进材料器件科研实验、产品研发和工艺过程的太空模拟环境实验。


本产品设计先进、安全可靠,既可独立使用,也可与材料器件科研和生产工艺前后端设备无缝兼容联合使用。特别在航空、航天、材料、物理、光电,电子元器件、精密测量等行业领域应用。

真空实验腔
型号:VTC      品牌:SHIWEI是维
01
先进性
功能先进,布局紧凑,性能可靠稳定,完全模拟太空环境状态。
02
安全性

安全易用,操作方便,系统机械操作和控制功能均设有安全联锁装置,兼顾正常操作和安全​。

03
便捷性
系统采用集成模块化设计生产,组装安装调试简单,易于操作方便使用。同时具有无油无污染、排气速率快、真空度高等特点,大幅提高了研发和生产使用效率
04
兼容性
系统可独立使用并开放兼容,可无缝衔接材料生长合成、器件制备、性能表征等设备。

  该装置由腔体系统及机架,机械泵+分子泵、真空显示计系统及机架,水冷机,机架附件,PLC触摸控制等部分组成

  真空主腔体

  真空主腔体材料为优质不锈钢,机架为铝型材;

  真空度

  真空腔内空载极限真空度可达10-5-10-6 Pa,装置整体检漏漏率:≤10-9Pa.m3/s;

  温度

 腔体的烘烤温度≤120℃;

  容积

  腔体为非标大尺寸腔体(内径500mm,壁厚4mm),容积约为200L;

  结构

  腔体水平方向设置,具有左右对置的两个工位,为两个可以快拆快装的法兰端面结构;

  光学面板安装

  腔体内设置两组水平置物架,置物架上设置安装固定孔及卡槽(可适用于直接安装光学面板);

  腔体机架

  腔体机架采用铝型材8080型材,底部安装固定撑杆与滚轮,方便固定与移动;

  配置

  采用分子泵+机械泵+进口角阀配置,分子泵配有水冷机进行制冷,机械泵配有减震装置;

  腔体顶部配置
  腔体顶部配有充N2破空阀、真空规接口法兰,预留有真空检漏法兰;
  观察窗  两对,分别水平设置与俯下45°方向设置,CF100标准,用于状态观察和后期拓展改为激光光路入口的应用;
  真空数值显示及记录  能够显示机械泵泵口、腔体内的真空度;
  后期功能扩展  真空计,分子泵电源,带有通讯接口。
技术参数
应用领域

在航空、航天、材料、物理、光电,电子元器件、精密测量等行业领域应用。

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