真空实验腔用于材料器件、仪器仪表、精密设备等在太空中的模拟实验环境,也用于先进材料器件科研实验、产品研发和工艺过程的太空模拟环境实验。
本产品设计先进、安全可靠,既可独立使用,也可与材料器件科研和生产工艺前后端设备无缝兼容联合使用。特别在航空、航天、材料、物理、光电,电子元器件、精密测量等行业领域应用。
安全易用,操作方便,系统机械操作和控制功能均设有安全联锁装置,兼顾正常操作和安全。
该装置由腔体系统及机架,机械泵+分子泵、真空显示计系统及机架,水冷机,机架附件,PLC触摸控制等部分组成
真空主腔体
真空主腔体材料为优质不锈钢,机架为铝型材;
真空度
真空腔内空载极限真空度可达10-5-10-6 Pa,装置整体检漏漏率:≤10-9Pa.m3/s;
温度
腔体的烘烤温度≤120℃;
容积
腔体为非标大尺寸腔体(内径500mm,壁厚4mm),容积约为200L;
结构
腔体水平方向设置,具有左右对置的两个工位,为两个可以快拆快装的法兰端面结构;
光学面板安装
腔体内设置两组水平置物架,置物架上设置安装固定孔及卡槽(可适用于直接安装光学面板);
腔体机架
腔体机架采用铝型材8080型材,底部安装固定撑杆与滚轮,方便固定与移动;
配置
采用分子泵+机械泵+进口角阀配置,分子泵配有水冷机进行制冷,机械泵配有减震装置;
在航空、航天、材料、物理、光电,电子元器件、精密测量等行业领域应用。